實(shí)驗(yàn)室用氣體流量計(jì)：最全分類(lèi)解析及應(yīng)用場(chǎng)景詳解
2025-09-24
這里為您提供一份簡(jiǎn)潔明了的實(shí)驗(yàn)室用氣體流量計(jì)分類(lèi)解析及應(yīng)用指南。
一、 核心分類(lèi)（按測(cè)量原理）
實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)主要分為兩大類(lèi)：體積流量計(jì)和質(zhì)量流量計(jì)。
| 分類(lèi) | 工作原理 | 優(yōu)點(diǎn) | 缺點(diǎn) | 典型應(yīng)用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 質(zhì)量流量計(jì) (MFM) |
直接測(cè)量單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)氣體的質(zhì)量。 核心原理是流體流經(jīng)被加熱的管道時(shí)， |
讀數(shù)直接（如 sccm, slm），不受溫度、壓力影響， 精度高，響應(yīng)快。 |
價(jià)格相對(duì)較高；對(duì)氣體潔凈度有要求。 | 化學(xué)反應(yīng)（如CVD、MOCVD）、細(xì)胞培養(yǎng)、 氣相色譜載氣控制、需要精確配氣的任何場(chǎng)景。 |
| 2. 體積流量計(jì) | 測(cè)量單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)氣體的體積。 | 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。 | 讀數(shù)受環(huán)境溫度、壓力影響，需要換算才能得到標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。 | |
| 2.1 轉(zhuǎn)子流量計(jì) | 基于浮子在垂直錐形管中旋轉(zhuǎn)上升的高度來(lái)測(cè)量流量。 | 價(jià)格低廉，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單直觀，無(wú)需電源。 | 精度較低，需垂直安裝，對(duì)振動(dòng)敏感。 | 教學(xué)演示、氣體粗略分配、通風(fēng)櫥氣路指示。 |
| 2.2 皂膜流量計(jì) | 通過(guò)測(cè)量皂膜在標(biāo)準(zhǔn)玻璃管內(nèi)移動(dòng)一定體積所需的時(shí)間來(lái)計(jì)算流量。 | 實(shí)驗(yàn)室基準(zhǔn)儀器，精度極高，常用于校準(zhǔn)其他流量計(jì)。 | 無(wú)法連續(xù)測(cè)量，操作繁瑣，為手動(dòng)測(cè)量設(shè)備。 | 流量計(jì)校準(zhǔn)、低流量的精確測(cè)量和驗(yàn)證。 |
| 2.3 渦街流量計(jì) | 流體流過(guò)漩渦發(fā)生體時(shí)產(chǎn)生交替的漩渦，通過(guò)測(cè)量漩渦頻率計(jì)算流量。 | 量程寬，穩(wěn)定性好，無(wú)活動(dòng)部件。 | 對(duì)振動(dòng)敏感，低流速測(cè)量效果不佳。 | 實(shí)驗(yàn)室中型氣源總管路的流量監(jiān)測(cè)。 |
二、 特殊類(lèi)型：質(zhì)量流量控制器 (MFC)
量流量控制器/微小型氣體質(zhì)量流量控制器.jpg)
這是實(shí)驗(yàn)室最常用、最重要的控制型流量計(jì)。它在質(zhì)量流量計(jì) (MFM) 的基礎(chǔ)上，增加了一個(gè)自動(dòng)控制閥和一個(gè)閉環(huán)控制系統(tǒng)。
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功能：不僅能測(cè)量實(shí)時(shí)流量，更能根據(jù)用戶(hù)的設(shè)定值，自動(dòng)、精確地控制閥門(mén)開(kāi)度，使實(shí)際流量穩(wěn)定在設(shè)定值。
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應(yīng)用：凡是需要精確、穩(wěn)定、可編程控制氣體流量的場(chǎng)景，幾乎都使用MFC。 例如：
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半導(dǎo)體工藝設(shè)備（CVD, PECVD, Etching）
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催化劑評(píng)價(jià)裝置
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燃料電池測(cè)試系統(tǒng)
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任何需要多種氣體按比例精確混合的實(shí)驗(yàn)。
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三、 應(yīng)用場(chǎng)景快速選擇指南
| 實(shí)驗(yàn)需求 | 推薦首選類(lèi)型 | 關(guān)鍵考量 |
|---|---|---|
| 精確控制反應(yīng)氣體流量（如合成、沉積） | 質(zhì)量流量控制器 (MFC) |
精度、重復(fù)性、控制穩(wěn)定性、耐腐蝕性 （根據(jù)氣體選擇材質(zhì)）。 |
| 監(jiān)測(cè)或控制細(xì)胞培養(yǎng)箱內(nèi)的CO?濃度 |
質(zhì)量流量控制器 (MFC) 或 熱式質(zhì)量流量計(jì) (MFM) |
小流量下的精確性和穩(wěn)定性。 |
| 校準(zhǔn)其他流量計(jì) | 皂膜流量計(jì) | 作為基準(zhǔn)，追求最高絕對(duì)精度。 |
| 教學(xué)實(shí)驗(yàn)、粗略觀察氣流 | 轉(zhuǎn)子流量計(jì) | 成本、直觀性。 |
| 監(jiān)測(cè)壓縮空氣或氮?dú)饪偣艿南牧?/strong> | 渦街流量計(jì) | 中等流量范圍，耐用性。 |
| 僅需知道瞬時(shí)流量，無(wú)需控制 | 熱式質(zhì)量流量計(jì) (MFM) | 讀數(shù)直接，精度高于轉(zhuǎn)子流量計(jì)。 |
總結(jié)
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要精確控制，選MFC（質(zhì)量流量控制器）。
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要高精度測(cè)量（不控制），選MFM（質(zhì)量流量計(jì)）。
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要低成本、粗略指示，選轉(zhuǎn)子流量計(jì)。
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要校準(zhǔn)或獲得基準(zhǔn)值，選皂膜流量計(jì)。
希望這份簡(jiǎn)潔的分類(lèi)解析能幫助您快速選擇合適的實(shí)驗(yàn)室氣體流量計(jì)。如想了解更多流量計(jì)相關(guān)信息或者流量計(jì)選型，可咨詢(xún)艾絲特流量計(jì)廠(chǎng)家技術(shù)客服：180 1926 2426（微信同號(hào)）獲取幫助。
